本報記者 張敏 見習記者 熊悅

    因在投資者互動平臺一則有關光刻機銷售的回復，股價昨日“20CM”直線漲停的蘇大維格，隨即在9月15日早間收到深交所下發的關注函。

    9月14日午間，蘇大維格在互動易回復投資者提問時表示“公司光刻機已實現向國內龍頭芯片企業的銷售，并已實現向日本、韓國、以色列等國家的出口；同時，公司向國內相關芯片光刻機廠商提供了定位光柵尺部件。”

    同時提到，“公司已關注到納米壓印光刻在集成電路和芯片制造領域具備替代傳統光刻的應用潛力，并在積極布局”。當日午間開盤后，公司股價大幅拉升并觸及漲停。

    貨真價實還是文字游戲？

    就此深交所發出多重提問，要求公司補充披露所生產光刻設備的具體類型、主要客戶及下游用途、以及最近一年一期境內外銷售情況，核實說明公司光刻設備是否能夠直接用于芯片研發及制造、主要技術參數是否與業內龍頭廠商存在較大差距。

    同時，就公司提到的納米壓印光刻，深交所要求公司詳細說明納米壓印技術的具體用途、研發情況，以及在集成電路領域的布局情況；以及公司光刻設備相關產品的市場占有率及占主要客戶同類產品采購的份額等，進一步分析說明前述產品對公司業績是否具有重大影響；是否存在主動迎合市場熱點炒作公司股價、配合相關股東減持的情形等。

    據公司介紹，目前大規模批量制造芯片用光刻機主要包括DUV深紫外光刻機、EUV極紫外光刻機等，這類光刻機技術工藝和材料難度極高，公司目前不涉及此類光刻機的整機制造。“目前公司對外銷售的主要是激光直寫光刻機。”公司在前述互動易回復投資者提問時表示。

    盡管公司稱，銷售的激光直寫光刻機產品，不同于批量制造芯片所用的DUV深紫外光刻機、EUV極紫外光刻機等，但公司進一步表示，“DUV和EUV在生產芯片過程中使用的掩模板，需要直寫光刻機機型進行制造，包括激光直寫光刻機和電子束光刻機。”除掩模板外，激光直寫光刻機也可廣泛用于微納光學材料、MEMS產品、射頻器件、濾波器件、光子芯片等制造。

    實際上，公司在2022年年報中也提到過相關光刻設備實現向國內芯片企業的銷售這一情況，但其所指為“直寫光刻設備”。公司在年報中如此表示：“公司直寫光刻設備已出貨日本、韓國、以色列等國內外知名高校和科研院所，在科研光刻設備領域占有一定的市場份額，并實現向國內芯片企業的銷售。”

    蘇大維格還在去年年報中提到，公司能提供應用于IC芯片投影式光刻機的核心部件定位光柵尺產品；此外，公司也在積極拓展投影掩模式光刻機設備在太陽能光伏電池銅電鍍方案圖形化領域、以及直寫光刻在芯片掩模板和IC載板等領域的應用。

    資料顯示，蘇大維格研發和生產的高端智能裝備包括直寫光刻、3D光刻、投影/掃描光刻、納米壓印光刻設備等。

    多家上市公司回應

    一位關注科技領域的專業人士告訴《證券日報》記者，最近華為新品推出后，帶動了光刻機的熱度。該公司的直寫光刻機產品并不完全等同于普遍認知的制造芯片的光刻機，而是芯片光刻機涉及到的部分配件要使用到該公司的相關產品來制造。

    近期，光刻機板塊市場熱度不減，投資者關注度較高，諸多上市公司集中回應了投資者對光刻機相關產品的提問。

    威爾高于9月15日在投資者互動平臺表示，公司產品暫未涉及光刻機和芯片領域公司會持續關注該領域的未來發展。

    高盟新材于9月14日在投資者互動平臺表示，公司業務沒有涉及光刻機，但公司投資參股了光刻膠項目公司，其中，公司參股北京科華微電子材料有限公司比例為3.67%，參股北京鼎材科技有限公司比例為1.39%，北京科華是國內半導體用光刻膠領域的頭部企業，北京鼎材是OLED發光材料和面板顯示光刻膠領域的優秀企業。

    天瑞儀器于9月14日在投資者互動平臺表示，公司的產品沒有用到光刻機。此外，電科數字于9月14日在投資者互動平臺表示，公司為某半導體裝備生產商提供光刻機的控制模塊。

    IPG中國首席經濟學家柏文喜表示，近期光刻機板塊熱度較高，但投資者需保持理性，充分了解行業和公司的情況，注重風險控制，以長期投資的視角來進行投資決策。

（編輯 才山丹）