“工欲善其事，必先利其器。”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)亦如此：沒有能加工出人頭發(fā)絲幾千分之一到上萬分之一尺度的半導(dǎo)體設(shè)備，就無法造出芯片。

    “信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)是集成電路和各種微觀器件（包括芯片等）。隨著微觀器件越來越小，研發(fā)和制造高端微觀加工設(shè)備，在人頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一的尺度上，加工復(fù)雜的微觀器件，成為最重要的、最關(guān)鍵的、最卡脖子的核心產(chǎn)業(yè)。中微公司以自主創(chuàng)新和獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)開發(fā)的等離子體刻蝕機(jī)已在國內(nèi)外眾多客戶生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用，并核準(zhǔn)加工14納米、7納米和5納米的最先進(jìn)器件。同時(shí)，公司自主研發(fā)的制造氮化鎵基LED外延片的MOCVD關(guān)鍵設(shè)備，在眾多的LED生產(chǎn)線上已成為市場首選設(shè)備。相關(guān)產(chǎn)品均面臨了市場機(jī)會(huì)和繼續(xù)快速增長的空間。”中微公司董事長及總經(jīng)理尹志堯在此前路演時(shí)介紹說。

    7月22日，科創(chuàng)板鳴鑼開市，中微公司本次定價(jià)及未來表現(xiàn)是近期熱議話題，安信證券研究中心總經(jīng)理助理諸海濱接受證券時(shí)報(bào)記者采訪時(shí)認(rèn)為，中微公司是我國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中，極少數(shù)能與全球頂尖設(shè)備公司直接競爭并不斷擴(kuò)大市場占有率的公司，是業(yè)界公認(rèn)的后起之秀。有稀缺性加上高成長的預(yù)期，所以市場給出百億級別估值；未來主要關(guān)注業(yè)績能否保持高增長勢頭從而對公司估值形成有力支撐。

    方寸間近乎極限的操作

    無論是上個(gè)世紀(jì)90年代的“909工程”，還是2000年之后上海張江的集成電路產(chǎn)業(yè)爆發(fā)，每一代芯片人都身負(fù)理想、躊躇滿志，由尹志堯領(lǐng)銜的中微公司創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)亦如是。

    時(shí)間回?fù)苤?004年，在美國半導(dǎo)體領(lǐng)域已闖蕩20年的尹志堯帶領(lǐng)了一支全球化團(tuán)隊(duì)回國創(chuàng)業(yè)；尹志堯本人在上世紀(jì)80年代曾前往加州大學(xué)洛杉磯分校留學(xué)，并獲得物理化學(xué)博士學(xué)位；1984年至2004年，他先后在英特爾、泛林半導(dǎo)體和應(yīng)用材料擔(dān)任要職；目前，尹志堯是89項(xiàng)美國專利和200多項(xiàng)其他海內(nèi)外專利的主要發(fā)明人。中微公司的其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員中還包括杜志游、倪圖強(qiáng)、麥?zhǔn)肆x等在國際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)耕耘數(shù)十年的頂尖專家。

    在集成電路產(chǎn)業(yè)中，先進(jìn)集成電路大規(guī)模生產(chǎn)線的投資可達(dá)100億美元，75%以上是半導(dǎo)體設(shè)備投資，而光刻機(jī)、等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中最重要、最大宗的三類設(shè)備，該市場一直主要由國外廠商主導(dǎo)，行業(yè)高度壟斷，技術(shù)壁壘明顯。成立伊始，中微公司就將目光瞄準(zhǔn)了等離子體刻蝕設(shè)備領(lǐng)域。

    何謂刻蝕？是用化學(xué)或物理方法有選擇地在硅片及外延材料表面去除不需要的材料的過程，這些化學(xué)物理反應(yīng)在硅片上開槽打洞，形成令人嘆為觀止的微觀結(jié)構(gòu)。“一塊指甲蓋大小的芯片可集成幾十億個(gè)晶體管。這種微觀器件領(lǐng)域方寸間近乎極限的操作，對刻蝕機(jī)的控制精度提出極高要求。”上海本地半導(dǎo)體制造業(yè)內(nèi)人士向證券時(shí)報(bào)記者談道。

    2007年，中微公司首臺(tái)CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品PrimoD-RIE研制成功，由此邁開追趕國際先進(jìn)水平的步伐。轉(zhuǎn)眼2015年，美國商務(wù)部宣布解除對我國等離子體刻蝕設(shè)備多年的出口管制，原因就在于中微公司已開發(fā)出了與美國設(shè)備公司具有同等質(zhì)量和相當(dāng)數(shù)量的等離子體刻蝕設(shè)備并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。

    多次知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟

    從未失敗

    中微公司在薄膜沉積設(shè)備亦開始發(fā)力。2010年，中微公司開始研發(fā)用于LED器件加工中最關(guān)鍵的設(shè)備——MOCVD；2017年，公司設(shè)備逐步打破了維易科和愛思強(qiáng)兩家國際知名企業(yè)的壟斷。

    崛起之路并非坦途，更何況競爭對手均為老牌國際巨頭。截至2018年末，中微公司曾涉及四起海內(nèi)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)訴訟案件，涵蓋兩件專利案件和兩件商業(yè)機(jī)密案件，最終公司未嘗敗績，在訴訟中均達(dá)成和解或勝訴。這一結(jié)果與中微公司歷來在研發(fā)保持高投入密不可分。2016年-2018年公司累計(jì)研發(fā)投入10.37億元，約占營業(yè)收入的32%。

    如今，中微公司經(jīng)過15年的發(fā)展，公司等離子體刻蝕設(shè)備已在國際一線客戶（主要為晶圓廠）從65納米到14納米、7納米和5納米的集成電路加工制造及先進(jìn)封裝中有具體應(yīng)用。同時(shí)，公司的MOCVD設(shè)備在行業(yè)領(lǐng)先客戶的生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn)，已成為世界排名前列、國內(nèi)占領(lǐng)先地位的氮化鎵基LEDMOCVD設(shè)備制造商。

    技術(shù)的突破和產(chǎn)品量產(chǎn)化正轉(zhuǎn)化為效益。中微公司2016年至2018年?duì)I業(yè)收入分別為6.1億元、9.72億元、16.39億元；歸母凈利潤分別為-2.39億元、2991.87萬元、9086.92萬元。同時(shí)，公司預(yù)計(jì)2019年1~6月實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入7.2~8.6億元，同比增長55%~85%；預(yù)計(jì)實(shí)現(xiàn)扣非后歸母凈利潤為2200~2600萬元，較去年同期的-4801.28萬元由負(fù)轉(zhuǎn)正。

    談及刻蝕設(shè)備增長潛力，諸海濱認(rèn)為，中微公司的刻蝕設(shè)備雖然在銷售規(guī)模上離巨頭們有一定差距，但其部分技術(shù)水平和應(yīng)用領(lǐng)域已達(dá)到國際同類產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)，產(chǎn)品也正獲得更多下游客戶認(rèn)可。2019年上半年預(yù)告扭虧轉(zhuǎn)盈就是一個(gè)好信號(hào)，未來市場份額有望進(jìn)一步提升。

    未來十年力爭成為

    國際一流半導(dǎo)體設(shè)備公司

    苦練內(nèi)功之際，中微公司也正計(jì)劃借助資本市場取得更快速發(fā)展。從3月29日科創(chuàng)板上市申請獲受理，到7月1日注冊生效，中微公司歷時(shí)僅93天，并成為25家科創(chuàng)板首批上市公司之一。

    對于國內(nèi)硬核科技企業(yè)的代表，資本市場給出了高估值：發(fā)行價(jià)29.01元/股，對應(yīng)PE為170.75倍，對應(yīng)PS為9.47倍。

    對于上述定價(jià)結(jié)果，不乏估值是否過高的爭議。多位受訪機(jī)構(gòu)人士對證券時(shí)報(bào)記者給出了解讀。諸海濱認(rèn)為，中微公司正處于高研發(fā)、高成長階段，刻蝕設(shè)備、MOCVD后續(xù)均需大量研發(fā)投入以突破更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)等，因此銷售收入增長速度相對而言能更好反映公司價(jià)值，所以PS比PE更適合對公司進(jìn)行估值。而本次發(fā)行價(jià)對應(yīng)的2019年動(dòng)態(tài)PS和PE水平與A股可比公司估值基本相當(dāng)。

    在一位曾參與詢價(jià)的上海本地機(jī)構(gòu)人士看來，中微公司高估值主要基于兩點(diǎn)，一是稀缺性，二是高成長預(yù)期，按多家機(jī)構(gòu)預(yù)測，2019年公司扣非前凈利潤增速仍將在100%以上。“公司研發(fā)實(shí)力突出，市場預(yù)期也很高，但并非沒有風(fēng)險(xiǎn)，未來公司能否保持長期的市場競爭力，下游晶圓廠和LED芯片制造商擴(kuò)產(chǎn)是否符合預(yù)期等情況都需要進(jìn)一步跟蹤。”該機(jī)構(gòu)人士同時(shí)指出。

    在獲得資本市場百億級估值后，未來目標(biāo)在何處？中微公司認(rèn)為，公司將圍繞自身核心競爭力，通過自主創(chuàng)新、有機(jī)生長，結(jié)合適當(dāng)?shù)募娌⑹召彶呗?，不斷推?dòng)企業(yè)健康發(fā)展，力爭在未來十年內(nèi)發(fā)展成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司。